XPS测试

X射线光电子能谱（XPS）是一种表面分析技术，常用于分析材料表面的元素组成、化学位移（价态、官能团相关）和相对含量，检测深度为材料表面1-10nm。

利用单一波长的X射线（1000eV~1500 eV）辐照材料表面，将表面原子的核外电子激发出来，成为光电子，探测器可以检测得到这些光电子的动能，并与入射X射线的能量相减，就得出电子的结合能。每个元素的核外电子结合能是不同的，因此XPS能够检测元素组成；而同种元素的电子结合能还会因化学环境的不同而存在一定的能量偏移，即化学位移，所以XPS结果又包含价态、官能团等化学环境信息。

XPS检测深度为数纳米，如果感兴趣的深度范围更大，可以配合离子刻蚀做不同深度的XPS检测。

XPS测试结果示例